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ALD常用前驱体简介：

ALD常用前驱体在半导体、显示、纳米、新能源、催化等高校科研领域的研究热度颇高。针对客户实际需求，我司可提供研发级的先进ALD 常用前驱体，产品纯度最高可达6.5N，并支持为客户定制合成；产品可用于制备学术研究和企业研发用的金属/氧化物/氮化物/碳化物/硅化物/硫化物薄膜。同时，我们也可以提供钢瓶的定制、清洗、灌装等服务及ICP-MS等先进的材料表征服务，能够对产品和钢瓶进行ppb级别的纯度分析。配备氦质谱检漏仪，保证所有出货的钢瓶气密性良好。

ALD危化品运输报价详情表

CAS: 75-24-1

产品编号： 1041971

Trimethylaluminum(TMA)

产品介绍：

一种无色透明液体，室温下具有很高的饱和蒸气压，可以用作烯烃聚合催化剂、引火燃料。也可以和其他共反应物生长氧化物和氮化物，在微电子和光电器件中有广泛应用。

稳定性：水汽敏感

10g ：

700.0元

25g ：

1662.5元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19782-68-4

产品编号： 1503783

Hf(NMe2)4(TDMAH)

产品介绍：

一种固液混合前驱体，可以和其他共反应物沉积氧化物、氮化物、硫化物等薄膜，在光学涂层、功率器件、存储设备等方面均有应用。

稳定性：水汽敏感，低温保存

10g ：

2000.0元

25g ：

4750.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 352535-01-4

产品编号： 1503755

Hf(NMeEt)4(TEMAH)

产品介绍：

一种固液混合前驱体，可以和其他共反应物沉积氧化物、氮化物、硫化物等薄膜，在光学涂层、功率器件、存储设备等方面均有应用。

稳定性：水汽敏感

10g ：

2200.0元

25g ：

5225.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19824-55-6

产品编号： 1440889

Hf(NEt2)4(TDEAH)

产品介绍：

一种无色透明液体，饱和蒸汽压较低，可以和其他共反应物沉积氧化物、氮化物等薄膜，在光学涂层、功率器件、存储设备等方面均有应用。

稳定性：水汽敏感

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19756-04-8

产品编号： 1169641

Zr(NMe2)4(TDMAZ)

产品介绍：

一种白色至浅黄色晶体，具有较高的饱和蒸汽压，其薄膜在二维半导体FET器件以及存储器件中有着十分广阔的应用前景。

稳定性：水汽敏感，低温保存

10g ：

8000.0元

25g ：

19000.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 175923-04-3

产品编号： 1182057

Zr(NMeEt)4(TEMAZ)

产品介绍：

一种无色透明液体，可以和其他共反应物沉积氧化物、氮化物等薄膜，其生长的氧化物是一种高K介质材料，具有非常好的热稳定性，被用作栅介质替代层和保护涂层。

稳定性：水汽敏感

10g ：

2200.0元

25g ：

5225.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 13801-49-5

产品编号： 1182090

Zr(NEt2)4(TDEAZ)

产品介绍：

一种无色透明液体，饱和蒸汽压较低，其薄膜在逻辑器件、纳米涂层领域均有应用。

稳定性：水汽敏感，低温保存

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 33271-88-4

产品编号： 1637460

CpZr(NMe2)3(CpTDMAZ)

产品介绍：

一种黄色液体，在半导体领域，微电子行业等具有广泛应用，尤其是作为高K绝缘层和热障涂层材料。

稳定性：

10g ：

16000.0元

25g ：

38000.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 3275-24-9

产品编号： 1503795

Ti(NMe2)4(TDMAT)

产品介绍：

一种对水气敏感的淡黄色液体; 用于ALD/MOCVD，制备TiO2、TiN、TiSx等薄膜，广泛应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。

稳定性：水汽敏感，空气敏感

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 308103-54-0

产品编号： 1637381

Ti(NMeEt)4(TEMAT)

产品介绍：

一种对水氧敏感的黄色液体; 用于ALD/MOCVD，制备TiO2、TiN薄膜，应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。

稳定性：水汽敏感

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 4419-47-0

产品编号： 1182181

Ti(NEt2)4(TDEAT)

产品介绍：

一种对水氧敏感的黄色液体; 用于ALD/MOCVD，制备TiO2、TiN薄膜，应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化、自组装单分子层(SAMs)等领域。

稳定性：水汽敏感

10g ：

2400.0元

25g ：

5700.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 546-68-9

产品编号： 1078500

Ti(iPrO)4(TTIP)

产品介绍：

一种对水敏感的无色/淡黄色液体；用于ALD/MOCVD，制备TiO2、BaTixOy、PbTixOy、 SrTixOy等薄膜，应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。

稳定性：水汽敏感

10g ：

1000.0元

25g ：

2375.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 7550-45-0

产品编号： 1042060

TiCl4(TiCl4)

产品介绍：

一种对水敏感的黄色液体；用于ALD/MOCVD，制备金属Ti、TiO2、TiN、TiS2等薄膜，可用于微电子、太阳能电池、光催化和太阳能电池等领域。

稳定性：水汽敏感

10g ：

800.0元

25g ：

1900.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 1445-79-0

产品编号： 1637377

Trimethylgallium(TMGa)

产品介绍：

一种对水氧极其敏感的无色液体；用于ALD/MOCVD，制备GaN、GaAs、AsGaAl等半导体薄膜材料，是制备半导体材料的核心基础材料之一，广泛应用于集成电路、液晶显示、LED照明、传感器、激光器、光伏电池等行业。

稳定性：水汽敏感

10g ：

2400.0元

25g ：

5700.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 406462-43-9

产品编号： 1503756

W(NMe2)2(tBuN)2(BTBMW)

产品介绍：

一种具有胺样气味的黄色可燃液体，可用于W的氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜的ALD前驱体源，可广泛应用于薄膜电容器、电致变色、催化、硬质涂层和微电子等领域。

稳定性：水汽敏感，空气敏感

10g ：

7000.0元

25g ：

16625.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19824-59-0

产品编号： 1503777

Ta(NMe2)5(PDMAT)

产品介绍：

一种对水气敏感的橘黄色固体粉末，用于ALD/MOCVD，制备Ta2O5、TaNx等薄膜，广泛应用在微电子领域中铜扩散阻挡层、电容器、存储器、能源电池、光催化等领域。

稳定性：水汽敏感

10g ：

10000.0元

25g ：

23750.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 511292-99-2

产品编号： 1503780

Ta(NtBu)(NMeEt)3(TBTEMT)

产品介绍：

一种对水敏感的黄色液体；用于ALD/MOCVD，制备Ta2O5、TaNx、TaNxCy等薄膜，广泛应用在微电子领域中铜扩散阻挡层、电容器、存储器、能源电池、光催化等领域。

稳定性：水汽敏感，空气敏感

10g ：

4500.0元

25g ：

10687.5元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 56792-69-9

产品编号： 1181150

Co2(CO)6(HC≡CtBu)(CCTBA)

产品介绍：

一种蒸气压高，在正常条件下热稳定性好的液态ALD前驱体源，用于沉积氧化钴薄膜及金属钴薄膜，可广泛应用于电镀、电致变色器件、非均相催化剂、固态气体传感器、电阻随机存取存储器(ReRAM)器件等技术领域，此外，氧化钴还是一种活性催化剂，可减小空气污染。

稳定性：空气敏感

10g ：

2400.0元

25g ：

5700.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 186598-40-3

产品编号： 1503791

SiH2(NHtBu)2(BTBAS)

产品介绍：

一种无色液体，可作为Si的氮化物薄膜及氧化物薄膜的ALD前驱体源，被广泛用作表面钝化保护膜、绝缘层、杂质扩散掩膜、刻蚀掩膜以及半导体元件的表面封装以及化学和生物传感器器件上。

稳定性：水汽敏感

10g ：

1200.0元

25g ：

2850.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 15112-89-7

产品编号： 1503753

SiH(NMe2)3(3DMAS)

产品介绍：

一种无色的易燃液体，可作为Si的氮化物薄膜及氧化物薄膜的ALD前驱体源，薄膜可广泛应用于电子器件、集成器件、光学薄膜器件、化学和生物传感器器件上，此外，在光催化、微电子和透明绝热等领域具有良好的发展前景。

稳定性：

10g ：

1400.0元

25g ：

3325.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 78-10-4

产品编号： 1043462

Tetraethoxysilane(TEOS)

产品介绍：

一种带有一种像酒精的气味的无色液体，可在低温下实现沉积SiO2薄膜的ALD前驱体源，薄膜是一种重要的无机材料，被广泛用作表面钝化保护膜、绝缘层、杂质扩散掩膜、刻蚀掩膜以及半导体元件的表面封装等。

稳定性：水汽敏感

10g ：

600.0元

25g ：

1425.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 5588-84-1

产品编号： 1156442

Triisopropoxyvanadium(V) Oxide(VTIP)

产品介绍：

一种无色、易燃的液体，是常见的ALD沉积氧化钒薄膜的前驱体源，氧化钒薄膜广泛应用于气体传感器、催化剂和二次电池电极等领域。

稳定性：水汽敏感

10g ：

1200.0元

25g ：

2850.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 1066-77-9

产品编号： 1637385

Tetrakis(dimethylamino)tin(IV)(TDMASn)

产品介绍：

一种对水敏感的透明液体，是常见的沉积氧化锡的ALD前驱体源，氧化锡薄膜可应用于光伏、气体传感、催化、光电子、建筑玻璃涂层等领域，也可用于涂覆氧化铟薄膜，制备氧化铟锡，是工业上最重要的透明导电氧化物之一。

稳定性：水汽敏感

10g ：

1700.0元

25g ：

4037.5元

50ml钢瓶：

7000.0元

ALD常用前驱体简介：

ALD常用前驱体在半导体、显示、纳米、新能源、催化等高校科研领域的研究热度颇高。针对客户实际需求，我司可提供研发级的先进ALD 常用前驱体，产品纯度最高可达6.5N，并支持为客户定制合成；产品可用于制备学术研究和企业研发用的金属/氧化物/氮化物/碳化物/硅化物/硫化物薄膜。同时，我们也可以提供钢瓶的定制、清洗、灌装等服务及ICP-MS等先进的材料表征服务，能够对产品和钢瓶进行ppb级别的纯度分析。配备氦质谱检漏仪，保证所有出货的钢瓶气密性良好。

ALD危化品运输报价详情表

CAS: 75-24-1

产品编号： 1041971

10g ：

700.0元

25g ：

1662.5元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19782-68-4

产品编号： 1503783

10g ：

2000.0元

25g ：

4750.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 352535-01-4

产品编号： 1503755

10g ：

2200.0元

25g ：

5225.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19824-55-6

产品编号： 1440889

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19756-04-8

产品编号： 1169641

10g ：

8000.0元

25g ：

19000.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 175923-04-3

产品编号： 1182057

10g ：

2200.0元

25g ：

5225.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 13801-49-5

产品编号： 1182090

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 33271-88-4

产品编号： 1637460

10g ：

16000.0元

25g ：

38000.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 3275-24-9

产品编号： 1503795

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 308103-54-0

产品编号： 1637381

10g ：

1800.0元

25g ：

4275.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 4419-47-0

产品编号： 1182181

10g ：

2400.0元

25g ：

5700.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 546-68-9

产品编号： 1078500

10g ：

1000.0元

25g ：

2375.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 7550-45-0

产品编号： 1042060

10g ：

800.0元

25g ：

1900.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 1445-79-0

产品编号： 1637377

10g ：

2400.0元

25g ：

5700.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 406462-43-9

产品编号： 1503756

10g ：

7000.0元

25g ：

16625.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 19824-59-0

产品编号： 1503777

10g ：

10000.0元

25g ：

23750.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 511292-99-2

产品编号： 1503780

10g ：

4500.0元

25g ：

10687.5元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 56792-69-9

产品编号： 1181150

10g ：

2400.0元

25g ：

5700.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 186598-40-3

产品编号： 1503791

10g ：

1200.0元

25g ：

2850.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 15112-89-7

产品编号： 1503753

10g ：

1400.0元

25g ：

3325.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 78-10-4

产品编号： 1043462

10g ：

600.0元

25g ：

1425.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 5588-84-1

产品编号： 1156442

10g ：

1200.0元

25g ：

2850.0元

50ml钢瓶：

7000.0元

CAS: 1066-77-9

产品编号： 1637385

10g ：

1700.0元

25g ：

4037.5元

50ml钢瓶：

7000.0元

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